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产品详情
点激光LK-G15,重复精度0.025um,测量参考距离和测量范围为15±1mm,采样率可达50K/S。
双轴二维平台,径向电机行程300mm,定位精度0.01mm,角向电机360度可转,定位精度0.01度。
系统总体测量精度,对于20mm宽样品,不改变定位,重复测量精度±0.1um,手动重新定位,重复测量精度±1um。
本系统采样基恩士的激光位移传感器LK-G15进行厚度的测量,激光照射到待测物上,经反射后投影到CCD中,
通过激光三角法可以测得待测点离激光头的距离。LK-G15的测量重复精度可达0.025um,测量参考距离和测
量范围为15±1mm,采样率可达50K/S。当移动被测物时,激光头可以测到一条实时的高度扫描曲线,从而可
得到一定范围内的高度平均值。